由于联电所属的欣兴电子转投资亚太优势，且占有亚太优势相当程度股权，长久以来外界一直认为亚太优势就是联电跨入MEMS市场的代表，且认定联电在部署MEMS市场仅有亚太优势，没想到联电本身会悄悄投入MEMS产能布建。
据了解，联电内部不仅要做MEMS整体制造的前段部分，也就是所谓的CMOS制程，同时也还要投入后段MEMS制造，是属于1条完整的MEMS制造产能，第1阶段机器设备预计在2008年10月开始正式搬入，依照装机时点推估，到2008年底将有机会完成第1条MEMS产线建置工作，真正投入量产时间点大约落在2009年的上半。
据了解，联电第1条MEMS生产线产能满载量约为1,000片，而将在其8吋厂内部进行投产，将采用0.3微米制程技术切入MEMS代工，到最后也有机会改采0.13微米制程技术，不过市场人士表示依照台积电过去建造ME
MS生产线经验来看，联电如果真正想要拥有1条属于自己可运作MEMS生产线，可能将落在2009年下半年才较有机会正式进入量产。
除此之外，联电现已加紧脚步与海内外的MEMS产品设计公司进行接洽，希望这些MEMS设计公司能够选择联电MEMS产能投片，不过较令人担忧的是，联电的客户大多为MEMS设计公司，因此想在联电正式投片前，还是必须与联电共同合作试产一阵子，才有机会正式进入量产，这与台积电当前状态较为不同，由于台积电接恰的客户大多属于IDM厂商，IDM大厂大多会将整套的「配方」转给台积电，这将有助于台积电MEMS生产良率上较高。
